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      天津錦泰玻璃 專注高溫玻璃產(chǎn)品事業(yè)
      
    
      
      
    
      
  
      
  
  
  
  
       
    
      
      
      
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      新聞詳情
      
          
      
            
      
              
      石英玻璃的脫羥工藝技術(shù)及裝備
      
              
       發(fā)布時(shí)間:2013年02月21日 瀏覽:5109
      
            
      
            羥基在石英玻璃中是一種有害的非金屬雜質(zhì)，它可降低石英玻璃的耐溫性，羥基含量1200×10-6時(shí)降低軟化溫度70℃，對半導(dǎo)體技術(shù)用石英玻璃有一定影響，在電光源石英玻璃中，羥基在高溫下擴(kuò)散出來使燈中的鹵化物變質(zhì)，電極氧化中毒，嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成熄弧，影響燈的使用壽命。所以連溶石英玻璃要在真空中高溫煅燒，消除羥基，稱脫羥。

      
	脫羥工藝有三種形式：①在空氣中進(jìn)行煅燒，因?yàn)榭諝庵泻�，所以只能清除亞穩(wěn)定羥基，脫羥裝備可采用隧道窯，推板窯或者箱式電爐，電加熱，最高溫度1000℃，脫羥后殘留穩(wěn)定性羥基含量在20×10-6左右；②在脫羥爐中通高純N2[N2經(jīng)過提純，含水量為（1~2）×10-6]，脫羥設(shè)備可采用推板式電爐和箱式電爐，爐門必須密閉，爐子底部留有進(jìn)N2口，爐子頂部留有出N2口，整個(gè)脫羥過程不斷送入高純N2。最高溫度1100℃；③真空脫羥采用擴(kuò)散泵抽真空，真空度為5×10-3Pa，采用分子泵抽真空，真空度可達(dá)1×10-4Pa，爐子性能見下表。

      

      
	
		
      
			
				
      
					產(chǎn)品型號(hào)
				
      
			      		
			
				
      
					爐內(nèi)尺寸/mm
				
      
			      		
			
				
      
					最高溫度/℃
				
      
			      		
			
				
      
					溫度均勻性/℃
				
      
			      		
			
				
      
					極限真空度/Pa
				
      
			      		
			
				
      
					熱態(tài)真空度/Pa
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					L651211-11/ZM
				
      
			      		
			
				
      
					Φ200×300
				
      
			      		
			
				
      
					1200
				
      
			      		
			
				
      
					±5
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-4
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-3
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					L651211-13/ZM
				
      
			      		
			
				
      
					Φ300×400
				
      
			      		
			
				
      
					1200
				
      
			      		
			
				
      
					±5
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-4
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-3
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					L12700/ZM
				
      
			      		
			
				
      
					400×400×600
				
      
			      		
			
				
      
					1200
				
      
			      		
			
				
      
					±5
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-4
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-3
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					L12111-10/ZM
				
      
			      		
			
				
      
					610×610×1000
				
      
			      		
			
				
      
					1200
				
      
			      		
			
				
      
					±5
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-4
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-3
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					L12111-18/ZM
				
      
			      		
			
				
      
					700×700×1000
				
      
			      		
			
				
      
					1200
				
      
			      		
			
				
      
					±5
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-4
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-3
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					L12111-14/ZM
				
      
			      		
			
				
      
					700×800×1600
				
      
			      		
			
				
      
					1200
				
      
			      		
			
				
      
					±5
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-4
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-3
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					L12111-37/ZM
				
      
			      		
			
				
      
					800×1000×3300
				
      
			      		
			
				
      
					1200
				
      
			      		
			
				
      
					±5
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-4
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-3
				
      
			      		
		
      
		
      
			
				
      
					分子泵
				
      
			      		
			
				
      
					350×350×500
				
      
			      		
			
				
      
					1200
				
      
			      		
			
				
      
					±5
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-5
				
      
			      		
			
				
      
					5×10-4
				
      
			      		
		
      
	      

      

      
	羥基檢測設(shè)備：采用傅里葉變換紅外光譜儀，型號(hào)WQF-310/410，測量精度≤1×10-6。

      

      
	脫羥溫度與時(shí)間如下：

      

      
	（1）在空氣中煅燒脫羥：可將石英玻璃中亞穩(wěn)定羥基清楚，脫羥目的為解決在封接石英玻璃是氣泡不會(huì)長大，脫羥或羥基含量將到20×10-6左右，脫羥溫度950℃，保溫時(shí)間1-2h。產(chǎn)品適用于鹵鎢等制造。

      

      
	（2）充N2脫羥工藝：脫羥溫度950~1050℃，保溫時(shí)間15~20h或更長，羥基含量可降到（6~8）×10-6，產(chǎn)品適用于汞燈制造。

      

      
	（3）真空脫羥工藝：脫羥溫度1050~1150℃，保溫時(shí)間15~20h或更長，羥基含量可降到（1~3）×10-6或＜1×10-6，產(chǎn)品可用于金屬鹵化物燈制造。

      

      
	脫羥時(shí)間常常會(huì)使產(chǎn)品變色，主要是因?yàn)槭⒉ＡцF含量太高的緣故。

      
            
      
            
          
      
        
      
      
      
      
      
    
      
  
      
  
  
      
    
    
      
      
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